Der Rohrreinigungsprozess ist ein kritischer Bestandteil der Vorbereitung. Ich finde, dass die Verwendung des ersten Reinigungsschritts zum Entfernen von Metallic -Verunreinigungen gut funktioniert. Wenn Sie zuerst zu HF etch würden, können Sie das Glas um die metallische Unreinheit ätzen, es aber nicht unbedingt entfernen. Wenn Sie nur HF Ätze, können einige metallische Verunreinigungen bestehen. Hier ist meine Herangehensweise an den Rohrreinigungsprozess:
- Für den ersten Schritt kann Aqua Regia verwendet werden (ein Säuremischung aus Salzsäuresäure und Wasser). Ein typischer Säurereinigungszyklus beträgt 30-60 Minuten mit Aqua Regia, um metallische Verunreinigungen zu entfernen, gefolgt von einer DI-Wasserspülung. Möglicherweise möchten Sie die Zeit je nach Prozess anpassen.
- Der nächste Schritt besteht darin, die Glasoberflächen zu ätzen und die Innen- und Außenseite zu reinigen. Die meisten MCVD -Operatoren verwenden Hydrofluorsäure. Eine Konzentration von 15% für 30-60 Minuten ist ein guter Ausgangspunkt. Möglicherweise möchten Sie die Zeit und die Konzentration für Ihren Prozess anpassen.
- Folgen Sie diesem Ätzzyklus mit einer endgültigen DI -Spülung und trocken mit Stickstoff, um das Spott von Wasser zu verhindern.
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