Was ist ein Beispiel für Micro -Prägen?
Eines der besten Beispiele für die Optik der Waferebene ist das Kameramodul auf Ihrem Mobiltelefon.
Die Grundidee besteht darin, Schichten von Mikrolensen herzustellen, die gestapelt sind, um das vollständige optische Element, das dann direkt an den Bildsensor der Kamera gebunden ist, auf Waferebene zu erstellen.
Links befindet sich ein Bild aus der EV -Gruppe, das eine explodierte Ansicht der Elemente eines typischen Kameramoduls auf Waferebene zeigt. ( Bild mit freundlicher Genehmigung von EV Group - EvGroup.com )
Dazu gehören die Polymerlinsen, Abstandshalter und Blendenschichten sowie der CMOS -Bildsensor unten.
Wenn Sie das Foto nur sehen, können Sie erkennen, wie genau dieses Gerät erstellt und zusammengebaut werden muss, um richtig zu arbeiten. Aktuelle Abdrucktechnologien ermöglichen Merkmalsgrößen so klein wie Mikrometer und Positionierungstechnologien ermöglichen Positionsgenauigkeiten von Sub-100-nm. Dies ist für die ordnungsgemäße Ausrichtung der mehreren Schichten in solchen winzigen Modulen unverzichtbar.
Hunderte werden jeweils auf einem Glaswafer -Substrat (wie rechts gezeigt) eingeprägt. Jedes Quadrat auf dem Wafer ist eine Polymerlinsenschicht. Jede Schicht im Objektivstapel hat einen eigenen Stempel. Die etabliertesten Optikentechniken auf Waferebene ermöglichen eine doppelseitige Form von Mikrolensen am Glaswafer. Das optische Abdruckharz wird in einer Schicht am Glaswafer abgegeben. Der Stempel ist ausgerichtet und dann auf die Harzschicht abgesenkt. Das kontrollierte Drücken der Harzschicht ermöglicht eine kontinuierliche Füllung aller Linsenhöhlen über den gesamten Bereich des Stempels. Das Harz wird durch Exposition gegenüber UV -Licht geheilt und der Stempel wird weggehoben.
Die hoch genaue Montage- und Bindungsausrichtung der mehreren Schichten führt zu einem sehr kompakten, hochgenauigen Modul, das direkt auf eine gedruckte Leiterplatte montiert werden kann. In den letzten 10 Jahren hat diese Art von Form die herkömmlichen Kameras vom Fass-Typ im Wesentlichen ersetzt.
